一、探针台的系统组成包括：

1.探针台体             

2.体视显微镜             

3.单筒显微镜

4.金相显微镜           

5.观察摄像组件           

6.探针座&夹具

7.直流探针             

8.开尔文探针             

9.射频/微波探针

10.光波探针          

11.光学隔振台            

12.屏蔽黑箱

13.转接头             

14.真空气泵              

15.其他升级组件

二、详细描述：     

（一）总体规格特点:

1.重量:  60kg

2.尺寸:  580mm宽x520mm深x700mm高

3.优化的人体工学设计，便于工程师长时间舒适的操作。 

（二）针座台面规格:

U型固定台面，抛光不锈钢+防腐氧化材质，平整度：±3μm

（三）载台规格：

1.6英寸真空吸附样品台，提供气源，平整度：±3μm，采用真空吸附方式吸附样品，小真空吸附尺寸0.5mm×0.5mm，真空吸附尺寸150mm×150mm

2.样品台X-Y移动平台，行程150mmx150mm，微调精度为1μm，无回差线性调节

3.样品台Y方向快速推进抽出，行程2英寸，方便快递取放样品

4.样品台Z方向微调升降10mm，微调精度为1μm

5.样品台水平θ角度调节范围0°～360°，并微调±10°，微调精度0.01°

6.样品台电学独立悬空，可接地或加载背栅电压。

（四）显微镜操控规格:

1.显微镜后侧有X-Y轴调节小摇轮，可调节显微镜在X-Y方向的移动，移动范围50mmX50mm，精度1μm

2.显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮，粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便调焦，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动精度1μm

3.显微镜快速倾仰±30°功能，方便快速切换镜头，避免镜头切换时撞针。

（五）应用场景：

1.直流IV/CV测试  

2.Pulse IV测试

3.阻抗测试

4.时域分析测试

5.有源射频测试

6.无源射频/微波测试