1.

探针台

1.1.  6英寸/8英寸/12英寸探针台体

1.2. 卡盘X/Y轴平面无间隙气浮快速移动，移动速率可调，单手控制，快速移动行程：8英寸×8英寸，任意位置自动锁止

同时X/Y轴平面无间隙微调移动行程：8英寸×8英寸，精度：1um

1.3. 卡盘Z轴无间隙升降移动，行程：0~10mm，微调精度：1um

1.4. 探针平台快速升降行程 0/0.3/3.0mm并带自动锁定功能

1.5. 探针平台微调升降行程 ±25mm，微调精度：1um，升降高度可显示

1.6. 显微镜底座在 X-Y轴平面内微调移动，行程：2英寸×2英寸，精度1微米

1.7. 显微镜Z轴气浮快速升降，行程0~50mm，升降速率可调

1.8. 高分辨显微观察系统，光学分辨率0.5um，配合2000万像素高清工业相机和液晶显示器，带拍照、录像和尺寸测量软件

1.9. 直流、脉冲、高压、大电流、高频探针均可配置。

2.

高温卡盘

2.1.  6英寸/8英寸/12英寸高温卡盘，同轴结构，背栅电极测试，可兼容Banana、BNC、SHV、TRIAX、HV TRIAX等测试接口

2.2.  温度范围：室温~400℃

2.3.  温度分辨率 ：0.1℃

2.4.  温度稳定性：±0.1℃

2.5.  控温方式：PID

   3．

高压IV/CV仪表

3.1. 电压范围：±1500V，±3000V，±5000V，±10KV

3.2. 电流范围：±500A，±1500A

3.3. 电压最小分辨率：200 μV

3.4. 电流最小分辨率：10 fA

3.5. 多频电容测量范围：1 kHz to 5 MHz

   4．

测试软件

4.1. 人机交互界面多功能软件；

4.2. 具备数据图形化分析功能，具备输出通道、测试通道、输出类型、扫描模式、电压/电流参数、扫描步长、输出延迟、循环次数、接线方式设置功能；

4.3. 可实时测得IV曲线、VI曲线、IT曲线、VT曲线实时曲线；

4.4．滤波设置，对测量值取平均；

4.5. 手动设置输出和测量的量程范围，也可设置自动量程；

4.6. 设置测量积分时间，控制测量速率和精确度 

4.7. 通讯接口支持GPIB、RS-232、USB、LAN；