No.

Model

Description

QTY.

1.

探针台

1.1.六英寸标准测试探针台

1.2.四探针，高精度定位底座，分辨率0.7微米

1.3.双通道源表的低漏电测试电缆和接口，0.1fA分辨率

1.4.阻抗测试仪表的低漏电测试电缆和接口，0.1fF分辨率

1.5.光学显微镜，分辨率3.5微米

1.6.二千万像素工业相机，1X~5X数码变焦，带观察测量软件

1.7.探针1.0/2.0/5.0/10.0微米

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2.

可调光源

2.1.氙灯复合光源，电功率：150W，光谱范围：200nm～2500nm

2.2.三光栅单色仪，光谱范围200-2500nm，焦距300mm，非对称水平光路设计，消二次色散设计，有效抑制杂散光

2.3.单色光推荐使用波长范围：250-1700nm，，输出带宽连续可调1～30nm

2.4.六档滤光片轮，3 位空挡，适用200-1800nm

2.5.电动快门通光直径20mm，含ms 级定时器

2.6.自动软件控制单色光波长、光栅和滤光片轮，设置起始波长，终止波长，步长间隔，延迟时间

2.7.匹配探针台用定制光纤输出

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3.

数字源表

3.1.提供宽动态范围：200mV~200V, 1μA~1A, 20W

3.2.最小电流分辨率：0.1fA

3.3.最小电压分辨率：1uV

3.4.四象限工作

3.5.内置快速失败/通过测试比较器

3.6.数字I/O提供快速分选与机械手连接GPIB,RS-232

3.7.触发式连接面板

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4.

测试软件

4.1.人机交互界面多功能软件；

4.2.具备数据图形化分析功能，具备输出通道、测试通道、输出类型、扫描模式、电压/电流参数、扫描步长、输出延迟、循环次数、接线方式设置功能；

4.3.可实时测得IV曲线、VI曲线、IT曲线、VT曲线、RT曲线、PT曲线、RV曲线、FET特性曲线、BJT特性曲线；

4.4.滤波设置，对测量值取平均；

4.5.手动设置输出和测量的量程范围，也可设置自动量程；

4.6.设置测量积分时间，控制测量速率和精确度，积分时间可设置为0.001s～25s；

4.7.通讯接口支持GPIB、RS-232、USB、LAN；

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