一、晶圆测试系统组成包括：

1. 探针台

2.高低温卡盘            

3.IV仪表

4.CV仪表            

5.测试软件

二、详细描述：

探针台

1.8英寸-80℃ to +200℃高低温密闭腔体                                                               

2.卡盘X/Y轴平面无间隙气浮快速移动，移动速率可调，单手控制，快速移动行程：8英寸×8英寸，任意位置自动锁止，同时X/Y轴平面无间隙微调移动行程：8英寸×8英寸，精度：1um

3.卡盘Z轴无间隙升降移动，行程：0~10mm，微调精度：1um

4.探针平台快速升降行程 0/0.3/3.0mm并带自动锁定功能

5.显微镜底座在 X-Y轴平面内微调移动，行程：2英寸X2英寸，精度1微米

6.显微镜Z轴气浮快速升降，行程0~50mm，升降速率可调

7.高分辨显微观察系统，光学分辨率0.5um，配合2000万像素高清工业相机和液晶显示器，带拍照、录像和尺寸测量软件

8.直流、脉冲、高压、大电流、高频探针均可配置。

高低温卡盘

1. 8英寸高低温卡盘，同轴结构，背栅电极测试，可兼容Banana、BNC、TRIAX、SMA、HV TRIAX等测试接口

2. 温度范围：-80℃ to  +200℃

3. 温度分辨率 ： 0.1℃

4. 温度稳定性： ±0.1℃

5. 控温方式 ： 全自动控温软件，一键控制温控器、传感器和液氮流量

IV仪表

1. 提供宽动态范围：200mV~200V, 1μA~1A, 20W

2. 最小电流分辨率：0.1fA

3. 最小电压分辨率：1uV

4. 四象限工作

5. 数字I/O提供快速分选与机械手连接GPIB,RS-232

CV仪表

1. 测量频率DC，4Hz~8MHz(10 mHz~100 Hz步进)

2. 测量模式：单次/连续测量

3. 基本精度Z: 0.05 % rdg. θ: 0.03°

4 最小电容分辨率：0.1fF

5. DC偏压-200V~+200V

测试软件

1. 人机交互界面多功能软件；

2. 具备数据图形化分析功能，具备输出通道、测试通道、输出类型、扫描模式、电压/电流参数、扫描步长、输出延迟、循环次数、接线方式设置功能；

3. 可实时测得IV曲线、VI曲线、IT曲线、VT曲线、RT曲线、PT曲线、RV曲线、FET特性曲线、BJT特性曲线、C-F、C-V、C-T实时曲线；

4．滤波设置，对测量值取平均；

5. 手动设置输出和测量的量程范围，也可设置自动量程；

6. 设置测量积分时间，控制测量速率和精确度，积分时间可设置为0.001s～25s；

7. 通讯接口支持GPIB、RS-232、USB、LAN；

晶圆测试系统