一、小型真空高低温探针台的系统组成包括：

1.探针台体            

2.显微镜            

3.观察摄像组件

4.探针座&夹具         

5.直流探针          

6.开尔文探针

7.射频/微波探针       

8.光波探针          

9.光学隔振台

10.转接头            

11.真空气泵         

12.其他升级组件

二、详细描述：

（一）总体规格特点:

1.重量：30kg

2.尺寸：450mm宽×400mm深×600mm高

3.优化的人体工学设计，便于工程师长时间舒适的操作。

（二）载台（chuck）规格： 

1.40×40mm载台，平整度：±3μm

2.载台采用真空吸附方式吸附样品，小吸附样品尺寸为5mm×5mm 

3.载台X-Y轴微调行程101.6mm×101.6mm，微调分辨率1μm

4.载台Z轴方向微调升降10mm，微调分辨率1μm

5.载台水平角度调节范围0°～360°，旋转精度0.01°

6.载台电学独立悬空，可作背电极使用。

（三）针座台面规格:

1.U型抛光不锈钢台面

2.针座台面平整度：±3μm

3.可容纳针座数量：4～6个。

（四）显微镜操纵规格:

1.配有摆臂调节机构，可调节显微镜在X-Y任意方向的快速移动

2.显微镜Z轴带有调焦旋钮，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动精度1μm。

（五）应用场景：

1.直流IV/CV测试  

2.Pulse IV测试

3.阻抗测试

4.时域分析测试

5.有源射频测试

6.无源射频/微波测试。

小型真空高低温探针台（-35~130℃）