一、探针台的系统组成包括：

1.真空探针台体          

2.温控系统            

3.交变磁场

4.单筒显微镜            

5.体视显微镜          

6.观察摄像组件

7.直流探针              

8.开尔文探针          

9.射频/微波探针

10.光波探针            

11.光学隔振台         

12.转接头

13.其他升级组件

二、详细描述：

（一）温度范围：

1.密闭低温+高温：-60℃ ~ +120 ℃/ 200℃/400 ℃

2.真空低温+高温：-190 ℃ /269 ℃ ~ +120 ℃/ 200 ℃/ 400 ℃/500 ℃/900℃/1200℃

（二）样品台尺寸：

1.密闭高低温样品台：4英寸/6英寸/8英寸/12英寸

2.真空高低温样品台：1.25英寸/2英寸/4英寸

（三）显微观察倍率：

1.体视显微镜：综合放大倍率14X~200X（配合CCD相机+显示器），光学小分辨率约5微米；

2.金相显微镜：综合放大倍率20X~2000X （配合CCD相机+显示器），光学小分辨率约0.5微米。

（四）微定位座和夹具：

1.器件是几端口，二极管为2端，三极管为3端，场效应管为4端，特殊多端口器件；

2.测量何种参数，电压、电流、电阻、电容、单色光、激光、光谱、光强等；

3.配套仪表，数字源表、半导体参数分析仪、矢量网络分析仪、频谱仪、信号发生器、示波器、锁相放大器等

真空高低温探针台（-190~1200℃）